Многозонная трубчатая печь CVD с шкафом управления подачей газа

• Tmax：1200 ℃
• Термопара типа K/S/B
• Материал трубки：Трубка из нержавеющей стали / Трубка из кварцевого стекла / Трубка из оксида алюминия
• Электрические нагревательные элементы: Резистивная проволока из высокотемпературного сплава / SIC / MoSi₂
• Нагревательные элементы установлены горизонтально вокруг трубы печи. 
• Точность регулирования температуры: ±1℃
• Равномерность температуры: в пределах ±5°C （Метод регулирования температуры зависит от размера камеры печи. Для больших камер печи можно применять многоточечное регулирование для достижения лучшей равномерности температуры..）
• Скорость нагрева：Регулируется от 40 °C в минуту (самая быстрая, нелинейная) до 1 °C в час (самая медленная, нелинейная).
• Уровень вакуума: -0,1 МПа (поддерживает несколько газов: O₂, N₂, Ar, H₂ и т. д.)
• Фланец: Фланец из нержавеющей стали 304 с двойным уплотнительным кольцом KF
• Входы для газа: 2 типа (возможность расширения до 1–10)
• Смешивание газов: Регулируется с помощью отдельных расходомеров
• Клапаны: Импортные клапаны из нержавеющей стали (варианты: стандартные, из нержавеющей стали, соленоидные)
• Расходомеры: Два 0–300 мл/мин (варианты: массовые расходомеры, поплавковые расходомеры)
• Контроль давления: Манометр с двумя диапазонами (положительное/отрицательное давление) (опционально — цифровой вакуумметр)
• Вакуумный насос: Двухступенчатый ротационный лопастной насос (2 л/мин)
• Подача газа: Трубки из поливинилхлорида (опционально — трубопроводы из чистой нержавеющей стали для применений, требующих высокой чистоты)
• Система защиты от избыточного давления
  Автоматически предотвращает опасности, связанные с заблокированными/закрытыми выпускными отверстиями или чрезмерным давлением в печи. При обнаружении (с помощью датчика давления или контактного манометра) система: 1. Закрывает впускной клапан. 2. Активирует выпускной клапан и сигнализацию. 3. Обеспечивает безопасную работу печи.
• Система защиты от утечки газа: Мониторинг в режиме реального времени с автоматическим отключением, активацией вытяжки и вентиляцией, если уровни опасных газов превышают безопасные пороги
• Футеровка печи изготовлена из легкого материала из высокочистого оксида алюминия, сформированного в вакууме (армированного плитами из полых шариков оксида алюминия в зонах удара — горловине/основании) для обеспечения экстремальной термостойкости, минимального накопления тепла и устойчивости к термическим ударам (без растрескивания/отслоения).
• Двухслойный вентилируемый корпус из углеродистой стали для обеспечения низкой температуры поверхности (<45 °C) и высокой стабильности
• Функция безопасности:Основной нагревательный контур автоматически отключается при открытии дверцы при высоких температурах.
• Благодаря интеграции ПИД-регулирования с технологией SCR обеспечивается точное регулирование температуры с комплексной системой безопасности.
• Настройки программы 50-сегментного регулирования температуры: 1 кривая = 50 сегментов; 2 кривые = 28 сегментов/кривая; 3 кривые = 15 сегментов/кривая; 5 кривых = 9 сегментов/кривая.
• Корпус с покрытием RAL 7035
• Интерфейсы связи RS485, RS232, USB
• Сроки изготовления：Стандартные размеры: в течение 7 дней; камера по индивидуальному заказу: 7–15 дней
• Гарантия：1 год бесплатной гарантии на печь; Трубки и нагревательные элементы не входят в гарантию； Нагревательные элементы: бесплатная замена в течение 3 месяцев в случае естественного износа.
• Комплектация: Нагревательные элементы ×2,комплекты для монтажа нагревательных элементов ×2, руководство по эксплуатации ×1, сертификат соответствия ×1, специальный тигель для трубчатой печи ×1, теплоизоляционные заглушки ×2, уплотнительные кольца (О-кольца) ×2

Дополнительное оборудование

• Подъемная дверца: пневматическое открывание, управление педалью, горячая поверхность обращена в сторону, противоположную оператору.
• Сенсорный экран: многоязычное меню, хранение нескольких кривых процесса повышения температуры, хранение исторических кривых и отчеты по данным (7 дюймов).
• Компьютерное управление: Управляет запуском, паузой и остановкой печи, сохраняет исторические кривые, задает кривые нагрева, считывает кривые нагрева, устанавливает параметры и т. д.
• Управление ПЛК Siemens: Считывание данных в реальном времени с открытыми портами для обмена данными с предшествующим и последующим оборудованием.
• Система подачи газа: ручная или автоматическая
• Смотровое окно: встроено в дверцу печи из кварцевого стекла, устойчивого к высоким температурам.
• Подвижные ролики: два поворотных и два фиксированных ролика.
• Быстрое охлаждение: обеспечивается частотным преобразователем и центробежным вентилятором для программируемого управления охлаждением.
• Стойка для быстрой разгрузки: Стойка для материалов изготовлена из высокотемпературной стали, сверху покрыта износостойкими огнеупорными кирпичами повышенной прочности, что обеспечивает быструю
• передачу материалов из печи на внешнюю платформу в условиях высоких температур.
• Многоточечное регулирование температуры: независимое регулирование температуры с нескольких сторон для повышенной равномерности температурного режима.
• Камера печи для высоких температур с многосторонним нагревом для очень хорошей равномерности температурного режима.
• Вентилятор перемешивания: Металлический вентилятор перемешивания, может быть подключен к ПЛК для автоматического запуска при достижении заданных температурных интервалов.
• Отдельный шкаф управления: Отдельный шкаф управления с удлиненным кабелем управления (до 5 метров).
• Дно печи с теплоаккумуляцией: дно печи опускается на 50 мм благодаря полых конструкции, поддерживаемой несколькими вертикальными колоннами, что увеличивает площадь керамической несущей плиты и обеспечивает равномерное распределение тепла по дну.
• Очистка выхлопных газов: Добавляется печь для очистки выхлопных газов от ЛОС производительностью 40 м³/ч или 80 м³/ч.
• Коррозионно-стойкая футеровка печи: Материал футеровки печи, устойчивый к воздействию кислот, щелочей и фтористоводородной кислоты.
• Защита нагревательных элементов: Предотвращает загрязнение порошком, коррозию от летучих веществ и появление царапин.
• Чистая футеровка печи: Футеровка печи из керамики, высокотемпературного стекла и высокотемпературных металлов для предотвращения попадания пыли и летучих веществ.
• Ограничитель перегрева с регулируемой температурой срабатывания в качестве ограничителя температуры для защиты печи и загрузки
• Настраиваемые загрузочные решетки в соответствии с требованиями, для загрузки печи на двух уровнях.