Horno tubular multizona CVD con armario de control de gas

• Tmáx: 1200 ℃
• Termopar tipo K/S/B
• Material del tubo:Tubo de acero inoxidable / Tubo de vidrio de cuarzo / Tubo de alúmina
• Elementos calefactores eléctricos: Alambre de resistencia de aleación para altas temperaturas/SIC/MoSi₂
• Los elementos calefactores se instalan rodeando el tubo del horno en posición horizontal. 
• Precisión del control de temperatura: ±1 ℃
• Uniformidad de la temperatura: Dentro de ±5 °C （El método de control de temperatura depende del tamaño de la cámara del horno. En el caso de cámaras de horno grandes, se puede adoptar un control multipunto para lograr una mejor uniformidad de la temperatura..）
• Velocidad de calentamiento：Ajustable desde 40 °C por minuto (más rápida, no lineal) hasta 1 °C por hora (más lenta, no lineal).
• Nivel de vacío: -0,1 MPa (admite múltiples gases: O₂, N₂, Ar, H₂, etc.)
• Brida: Brida de acero inoxidable 304 con doble junta tórica KF
• Entradas de gas: 2 tipos (ampliables a 1-10)
• Mezcla de gases: Ajustable mediante caudalímetros individuales
• Válvulas: Válvulas de acero inoxidable importadas (opciones: estándar, acero inoxidable, solenoide)
• Medidores de flujo: Dos de 0-300 mL/min (opciones: medidores de flujo másico, medidores de flujo de tipo flotador)
• Monitorización de presión: Manómetro de doble rango (presión positiva/negativa) (manómetro de vacío digital opcional)
• Bomba de vacío: Bomba rotativa de paletas de dos etapas (2 L/min)
• Suministro de gas: Tubos de PVC (tubería opcional de acero inoxidable limpio para aplicaciones de alta pureza)
• Sistema de protección contra sobrepresión
  Previene automáticamente los riesgos derivados de puertos de escape bloqueados o cerrados, o de una presión excesiva en el horno. Cuando se detecta (mediante un sensor de presión o un manómetro de contacto), el sistema: 1. Cierra la válvula de admisión. 2. Activa la válvula de escape y la alarma. 3. Garantiza el funcionamiento seguro del horno.
• Protección de seguridad contra fugas de gas: Monitorización en tiempo real con apagado automático, activación del escape y ventilación si los niveles de gas peligroso superan los umbrales de seguridad
• El revestimiento del horno está fabricado con material ligero de alúmina de alta pureza moldeado al vacío (reforzado con placas de bolas huecas de alúmina en las zonas de impacto —boca/base—) para una resistencia extrema al calor, un almacenamiento mínimo de calor y durabilidad frente a los choques térmicos (sin grietas ni desprendimientos).
• Carcasa ventilada de doble pared fabricada en acero al carbono para una baja temperatura superficial (<45 ℃) y una alta estabilidad
• Característica de seguridad: El circuito de calentamiento principal se desconecta automáticamente cuando se abre la puerta a altas temperaturas.
• Mediante la integración del control PID con tecnología SCR, se consigue un control preciso de la temperatura con una protección de seguridad integral.
• Ajustes del programa de control de temperatura de 50 segmentos:1 curva = 50 segmentos; 2 curvas = 28 segmentos/curva; 3 curvas = 15 segmentos/curva; 5 curvas = 9 segmentos/curva.
• Carcasa con recubrimiento RAL 7035
• Interfaz de comunicación RS485, RS232 y USB
• Plazo de entrega: Tamaños estándar: en un plazo de 7 días;Cámara personalizada: 7–15 días
• Garantía：Garantía gratuita de 1 año para el horno； Tubos y elementos calefactores no incluidos； Elementos calefactores: sustitución gratuita en un plazo de 3 meses si se dañan de forma natural.
• Accesorios: Elementos calefactores ×2, kits de montaje de elementos calefactores ×2, manual de instrucciones ×1, certificado de conformidad ×1, crisol especial para horno tubular ×1, tapones de aislamiento térmico×2, anillos de sellado (juntas tóricas) ×2

Equipamiento adicional

• Puerta elevadora: Apertura neumática de la puerta, controlada mediante pedal, con la superficie caliente orientada en dirección opuesta al operador.
• Pantalla táctil: Menú multilingüe, almacenamiento de múltiples curvas de proceso de aumento de temperatura, almacenamiento de curvas históricas e informes de datos (7 pulgadas).
• Control por ordenador: controla el arranque, la pausa y la parada del horno, almacena curvas históricas, establece curvas de aumento de temperatura, lee curvas de aumento de temperatura, establece parámetros, etc.
• Control PLC de Siemens: Lectura de datos en tiempo real con puertos abiertos para la comunicación de datos con equipos aguas arriba y aguas abajo.
• Sistema de suministro de gas manual o automático
• Ventana de observación: Diseñada en la puerta del horno con vidrio de cuarzo resistente a altas temperaturas.
• Ruedas móviles: Dos ruedas giratorias y dos ruedas fijas.
• Enfriamiento rápido: Se consigue mediante un variador de frecuencia y un ventilador centrífugo para un control programable de la refrigeración.
• Bandeja de descarga rápida: La rejilla para materiales está fabricada en acero para altas temperaturas, con ladrillos refractarios de alta resistencia al desgaste en la parte superior, lo que permite una rápida
• transferencia de materiales desde el horno a una plataforma externa en entornos de alta temperatura.
• Control de temperatura multipunto: Control de temperatura independiente en múltiples lados para una mayor uniformidad de la temperatura.
• Cámara del horno de alta temperatura con calentamiento en múltiples lados para una muy buena uniformidad de la temperatura.
• Ventilador de agitación: Ventilador de agitación metálico, que puede conectarse a un PLC para arrancar automáticamente en segmentos de temperatura designados.
• Armario de control independiente: Armario de control separado con un cable de control de longitud extendida (hasta 5 metros).
• Fondo del horno con almacenamiento de calor: El fondo del horno se hunde 50 mm con un diseño hueco, soportado por múltiples columnas verticales, lo que aumenta la placa cerámica de soporte de carga y garantiza una distribución uniforme del calor en el fondo.
• Tratamiento de gases de escape: Incorpora un horno de tratamiento de gases de escape de COV con una capacidad de 40 m³,H u 80 m³,H.
• Revestimiento del horno resistente a la corrosión: Material de revestimiento del horno resistente a la corrosión por ácidos, álcalis y ácido fluorhídrico.
• Protección del elemento calefactor: Evita la contaminación por polvo y la corrosión por sustancias volátiles y arañazos.
• Revestimiento limpio del horno: Revestimiento del horno fabricado en cerámica, vidrio de alta temperatura y metales de alta temperatura para evitar el polvo y las sustancias volátiles.
• Limitador de sobretemperatura con temperatura de corte ajustable como limitador de temperatura para proteger el horno y la carga
• Bastidores de carga personalizables según los requisitos, para cargar el horno en dos niveles.