• +86-13526935931
  • gwdlthermo@gwdl.com

Трубчатая печь из оксида алюминия 1700 ℃

Многозонная трубчатая печь CVD с температурой 1700 °C, точность регулирования ±1 °C, вакуумная обработка в нескольких атмосферах, предназначена для применения в CVD

Трубчатая печь из оксида алюминия 1700 ℃

Трубчатая печь из оксида алюминия 1700 ℃

Максимальная температура:1700
Равномерность температуры:±1 °C
Материал трубки:Корунд (99% оксид алюминия)
Контроль атмосферы:O₂, N₂, Ar, H₂ и т. д.
Длина зоны нагрева:Девятьсот миллиметров
ВАКУУМ:-0,1 МПа
  • Tmax:1700℃
  • Термопара типа K
  • Материал трубки:керамическая трубка из оксида алюминия 99
  • Нагревательные элементы установлены вокруг трубки печи в горизонтальном положении. 
  • Точность регулирования температуры: ±1℃
  • Равномерность температуры: в пределах ±5°C Метод регулирования температуры зависит от размера камеры печи. Для больших камер печи можно использовать многоточечное регулирование, чтобы добиться лучшей равномерности температуры.)
  • Скорость нагрева:Регулируется от 40°C в минуту (самая быстрая, нелинейная) до 1°C в час (самая медленная, нелинейная).
  • Уровень вакуума: -0,1 МПа (поддерживает несколько газов: O₂, N₂, Ar, H₂ и т. д.)
  • Фланец: KF с двойным уплотнительным кольцом из нержавеющей стали 304
  • Входы для газа: 2 типа (с возможностью расширения до 1-10)
  • Смешивание газов: регулируется с помощью индивидуальных расходомеров
  • Клапаны: импортные клапаны из нержавеющей стали (варианты: стандартные, из нержавеющей стали, соленоидные)
  • Расходомеры: два 0-300 мл/мин (варианты: массовые расходомеры, поплавковые расходомеры)
  • Контроль давления: Двухдиапазонный манометр (положительное/отрицательное давление) (опционально цифровой вакуумметр)
  • Вакуумный насос: Двухступенчатый роторно-лопастной насос (2 л/мин)
  • Подача газа: Трубки из поливинилхлорида (опционально — чистые трубы из нержавеющей стали для применений, требующих высокой чистоты)
  • Система защиты от избыточного давления
    Автоматически предотвращает опасность, связанную с заблокированными/закрытыми выпускными отверстиями или чрезмерным давлением в печи. При обнаружении (с помощью датчика давления или контактного манометра) система: 1. Закрывает впускной клапан. 2. Активирует выпускной клапан и сигнализацию. 3. Обеспечивает безопасную работу печи.
  • Защита от утечки газа: Мониторинг в режиме реального времени с автоматическим отключением, активацией вытяжки и вентиляцией, если уровень опасных газов превышает пороговые значения безопасности
  • Футеровка печивакуумно-формованного легкого материала из высокочистого оксида алюминия (усиленного полыми шариковыми панелями из оксида алюминия в зонах удара — горловина/основание) для обеспечения крайней термостойкости, минимального накопления тепла и устойчивости к тепловым ударам (без растрескивания/отслоения).
  • Двойной вентилируемый корпус изуглеродистой стали для обеспечения низкой температуры поверхности (<45 ℃) и высокой стабильности
  • Функция безопасности: Основной нагревательный контур автоматически отключается при открытии двери при высоких температурах.
  • Благодаря интеграции ПИД-регулирования с технологией SCR обеспечивается точное регулирование температуры с комплексной защитой безопасности.
  • Настройки 50-сегментной программы регулирования температуры: 1 кривая = 50 сегментов; 2 кривые = 28 сегментов/кривая; 3 кривые = 15 сегментов/кривая; 5 кривых = 9 сегментов/кривая.
  • Корпус с покрытием RAL 7035
  • Интерфейс связи RS485 RS232 USB
  • Срок поставки:Стандартные размеры: в течение 7 дней;Камера по индивидуальному заказу: 7–15 дней
  • Гарантия:1 год бесплатной гарантии на печь; Трубки и нагревательные элементы не покрываются гарантией; Нагревательные элементы: бесплатная замена в течение 3 месяцев в случае естественного износа.
  • Принадлежности: нагревательные элементы ×2, комплекты для монтажа нагревательных элементов ×2, руководство по эксплуатации ×1, сертификат соответствия ×1, специальный тигель для трубчатой печи ×1, термоизоляционные заглушки ×2, уплотнительные кольца (O-кольца) ×2.теплоизоляционные пробки ×2, уплотнительные кольца (O-кольца) ×2
  • CE & ISO9001, ISO45001, ISO14001

МОДЕЛЬ: GWDL-1700GA    TMAX:1700℃                  

МОДЕЛЬ: GWDL-1700GA    TMAX:1700℃                                                                                                      

Наружный диаметр трубы (мм)

Длина зоны нагрева (мм)

Длина трубки (мм)

Напряжение/Мощность

Габаритные размеры (мм)

Вес (кг)

60

300

950

220V / 5 кВт

670×1000×800

160Kg

400

1100

380 В / 7 кВт

670×1200×800

190Kg

600

1200

380 В / 10 кВт

670×1300×800

240 кг

 750

1400

380 В / 12 кВт

670×1300×800

300Kg

80

250

950

380 В / 6 кВт

670×1000×800

170Kg

400

1100

380 В / 8 кВт

670×1200×800

200Kg

600

1200

380 В / 11 кВт

670×1300×800

260 кг

750

1200

380 В / 10 кВт

670×1300×800

300Kg

100

250

950

380 В / 12 кВт

670×1000×800

170Kg

400

1100

220 В / 5 кВт

670×1200×800

200 кг

600

1200

380 В / 7 кВт

670×1300×800

260Kg

120

250

950

380 В / 10 кВт

670×1000×800

170 кг

400

1100

380 В / 12 кВт

670×1200×800

200Kg

600

1200

380 В / 6 кВт

670 × 1300 × 800

260Kg

 


Дополнительное оборудование

  • Дверь подъемника: пневматическое открывание двери, управление педалью, горячая поверхность обращена в сторону, противоположную оператору.
  • Сенсорный экран: многоязычное меню, хранение нескольких кривых процесса повышения температуры, хранение исторических кривых и отчеты по данным (7 дюймов).
  • Компьютерное управление: управление запуском, паузой и остановкой печи, хранение исторических кривых, настройка кривых повышения температуры, считывание кривых повышения температуры, настройка параметров и т. д.
  • Управление ПЛК Siemens: считывание данных в реальном времени с открытыми портами для обмена данными с вышестоящим и нижестоящим оборудованием.
  • Ручная или автоматическая система подачи газа.
  • Осмотровое окно: спроектировано на дверце печи с использованием жаропрочного кварцевого стекла.
  • Подвижные ролики: два поворотных ролика и два фиксированных ролика.
  • Быстрое охлаждение: достигается с помощью частотного преобразователя и центробежного вентилятора для программируемого управления охлаждением.
  • Стойка для быстрой разгрузки: стойка для материалов изготовлена из высокотемпературной стали, с износостойкими тяжелыми огнеупорными кирпичами на верху, что позволяет быстро
  • перемещать материалы из печи на внешнюю платформу в условиях высокихтемпературных условиях.
  • Многоточечный контроль температуры: независимый контроль температуры с нескольких сторон для улучшения равномерности температуры.
  • Высокотемпературная камера печи с многосторонним нагревом для очень хорошей равномерности температуры.
  • Вентилятор для перемешивания: металлический вентилятор для перемешивания, может быть подключен к ПЛК для автоматического запуска при достижении заданных температурных сегментов.
  • Независимый шкаф управления: отдельный шкаф управления с удлиненным кабелем управления (до 5 метров).
  • Дно печи с накопителем тепла: дно печи опускается на 50 мм благодаря полой конструкции, поддерживаемой несколькими вертикальными колоннами, что увеличивает керамическую несущую пластину и обеспечивает равномерное распределение тепла по дну.
  • Очистка выхлопных газов: Добавлена печь для очистки выхлопных газов VOC мощностью 40 м³/ч или 80 м³/ч.
  • Коррозионно-стойкая футеровка печи: Материал футеровки печи, устойчивый к воздействию кислот, щелочей и фтористоводородной кислоты.
  • Защита нагревательного элемента: Предотвращает загрязнение порошком и коррозию от летучих веществ и царапин.
  • Чистая футеровка печи: Футеровка печи из керамики, высокотемпературного стекла и высокотемпературных металлов для предотвращения попадания пыли и летучих веществ.
  • Ограничитель перегрева с регулируемой температурой отключения в качестве ограничителя температуры для защиты печи и загрузки.
  • Настраиваемые загрузочные стеллажи в соответствии с требованиями для загрузки печи в два уровня.
Свяжитесь с нами сегодня
Телефон:+86-13526935931
Электронная почта:gwdlthermo@gwdl.com